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한국에서는 1963년 연세대학교 물리학과에서 300keV 코크로프트-월턴형 양성자 가속기가 제작되어 저에너지 핵반응실험에 이용되었으나 에너지가 너무 낮고 빔의 질이 열악해서 결국 교육용으로만 이용되었다. 그후 1974년 다시 100keV 코크로프트-월턴형 가속기가 제작되어 이온 주입에 이용되었다. 한편 이온과 원자 간의 산란문제 연구에도 활용되었으나 역시 에너지가 낮아서 연구용으로는 적합하지 않았다. 1985년 400keV까지 가속시킬 수 있는 가속기를 제작했다.

서울대학교에서는 원자력공학과가 중심이 되어 1982년 1.5MeV 밴더그래프 가속기(SNU VDG)를 제작했다. 그러나 핵실험에 이용할 수 있는 단계까지는 개발되지 않았다. 한편 1980년 서울대 물리학과에 400keV LC밴더그래프 가속기가 도입되었다.이것은 미국 고전압기술회사(High-voltage Engineering Co. Ltd)가 제작한 교육용 가속기이며 빔 전류는 10㎂이다. 양성자와 중수소를 가속시킬 수 있으며, 주로 저에너지 핵반응 등에 이용되고 있다.

이외에 원자력병원에 암치료용 입자가속기가 1982년에 도입되었다. 이 가속기는 덴마크의 단피시크사(Danfysik)가 제작한 것으로 양성자를 65MeV까지 가속시킬 수 있으며, 최대 전류는 70㎂이다. 양성자는 전하를 갖고 있기 때문에 암세포에 명중시킨다 하더라도 그 주변의 정상세포를 파괴시킬 가능성이 많아서 이 기종의 가속기는 그렇게 많이 보급되어 있지 않고 원자력병원에 설치된 것이 미국에 이어 2번째였다.

또한 양성자와 핵 간의 반응을 통하여 2차로 나온 전기적으로 중성인 중성자를 암치료 외에 핵물리학 연구에 이용하기에는 적합하지 않다. 그러나 동위원소 생산에 이용할 수 있으며 실제로 원자력병원에서 여러 가지 동위원소를 생산하고 있다. 이외에 동력자원연구소가 1991년 미국 고전압기술회사로부터 3MeV 밴더그래프 가속기를 도입했다. 이것은 주로 재료분석, 금속표면 연구 등에 이용되었다.

이와 같은 저에너지 입자가속기는 교육용 또는 특수 분야에서 이용되었으나 산업의 고도 발전을 맞이하여 여러 입자가속기가 설치, 운영되었다. 1995년부터 포항공과대학교에 3.0GeV 수준의 3세대 방사광가속기가 설치되어 물질의 정적구조 분석에 활용되었으며, 2017년에는 포항공과대학교에 10GeV 수준의 4세대 방사광가속기가 설치되어 물질의 동적현상 관측과 3차원 분석에 활용되었다.

2013년에는 원자력연구소에 선영 양성자가속기가 설치되어 물질 변화와 생성, 중성자 생산 등에 활용되고 있으며, 기초과학연구소에 중이온가속기가 2021년 운영을 목표로 구축중이고, 서울대학교병원에 중입자가속기가 2023년 설치되어 의학분야에서의 활용을 목적으로 구축중이다. 2020년 3월에는 국가과학기술자문회의 심의회의에서 <대형가속기 장기로드맵 및 운영전략>이 승인되어 방사광가속기, 양성자가속기, 중이온가속기, 중입자가속기의 건설 및 운용에 대한 기본 방침을 확정했다.

이 사업의 첫단계로 2020년 5월 8일 충청북도 청주시 청원구 오창읍이 다목적 방사광가속기 부지로 선정되었다. 2020년 예비타당성 검사를 마친 후 2022년 사업에 착수, 2027년 방사광가속기가 구축되고 2028년부터 운영할 예정이다. 방사광가속기 사업으로 고용 13만 7천 명, 생산 6조 7천억 원, 부가가치 2조4천억 원의 효과를 얻을 수 있을 것으로 추산되었다.