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이전에 있었던 헌법재판소 기능의 일부인 탄핵심판기능을 담당했다. 대법원장을 위원장으로 하고, 대법원판사 3명과 국회의원 5명으로 구성되었으며, 대법원장을 심판할 때는 국회의장이 위원장을 맡도록 했다. 탄핵결정에는 구성원 6명 이상의 찬성이 필요했으며, 탄핵결정시 탄핵대상자는 공직으로부터 파면되었고, 이로 인해 민사상·형사상의 책임이 면제되는 것은 아니었다. 1972년 12월 27일에 공포된 유신헌법에 의해 탄핵심판위원회는 폐지된 반면, 새로이 설치된 헌법위원회가 그 기능을 대신하게 되었다.→ 헌법위원회