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오산시는 20세기초까지 수원의 초평면·청호면·산성면·문시면 지역이었다. 수원은 삼국시대의 매홀군(買忽郡)인데, 통일신라시대인 757년(경덕왕 16)에 수성군(水城郡)으로 개칭했다. 고려초인 940년(태조 23)에 수주(水州)로 승격하고, 995년(성종 14)에 도단련사를 두었다가, 1005년(목종 8)에 폐지했다.

1018년(현종 9)에 수주군(水州郡)이 되어 진위(振威) 등 8현을 속현으로 포함했다. 1271년(원종 12)에 수원도호부로 승격되었다가 후에 수주목(水州牧)으로, 1310년(충선왕 2)에 수원부로, 1362년(공민왕 11)에 군으로 강등되었다가 곧 부로 복구되었다. 조선초 1413년(태종 13)에 도호부가 되었으나, 1526(중종 21)~35년에 군으로 강등되기도 했다.

1789년(정조 13)에 팔달산 동쪽으로 수원의 읍치가 이전되고, 1793년(정조 17)에 유수부로 승격되었으며, 1796년에 수원성 축성이 완료되어 수원은 신도시로 변모했다. 1895년에 지방제도 개정으로 인천부 수원군, 1896년에 경기도 수원군이 되었다. 이때 경기도 관찰부가 수원에 위치했으나, 1910년에 서울로 옮겨갔다.

1914년 군면 폐합 때 남양군이 폐지되어 합속되고, 광주군(지금의 광주시)·안산군(지금의 안산시)의 일부가 편입됨으로써 면적이 크게 확장되었다. 이때 면의 폐합도 이루어졌는데, 초평면·청호면·산성면·문시면을 통합한 성호면이 지금의 오산시에 해당한다. 1949년에 수원읍이 시로 승격되면서 나머지 지역이 화성군으로 이름이 바뀌었고, 성호면도 오산면으로 개칭되었다. 1960년에 오산면이 읍으로 승격되었고, 1989년에 시로 승격되어 화성군에서 분리되었다.