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실란 가스(Silane)는 규소(Si)를 기체로 한 유기 화합물을 말한다. 넓게는 수소 원자가 바뀐 SiH4의 유기 화합물을 포함해 실란 가스라 부른다. 주로 반도체나 태양전지 제조 공정에 사용된다.

인화성 가스의 일종으로 공기 중에서 자연 발화할 수 있으며, 열이나 화염에 의해 쉽게 점화되어 폭발한다. 불에 타는 동안에는 매우 자극적인 독성 가스가 발생한다. 다만 공기를 차단하고 보존하면 상온에서도 안정적으로 보관할 수 있다. 끓는점은 -122℃이며, 녹는점은 -185℃이다. 실란 가스의 NFPA(National Fire Protection Association)지수는 건강위험 2, 화재위험 4, 반응성 3이다. NFPA지수는 화재가 일어났을 때 진압 과정에서 독성물질에 의한 피해를 줄이기 위해 만든 안전 지수로 건강 위험과 화재 위험, 반응성에 대해 각각 0~4까지 정도에 따라 나눠 평가한다. 숫자가 높을 수록 유해한 것으로 0은 유해하지 않음을 뜻하며 4는 치명적임을 뜻한다.

실란 가스는 무색으로 자극적인 냄새를 가지고 있다. 실란 가스에 노출될 경우 피부와 눈에 화상 등 심한 손상을 입을 수 있으며 구토, 두통 등의 증상이 나타날 수 있다. 실란 가스를 흡입하면 호흡곤란을 일으키며 심한 경우 폐 조직이 굳어지는 폐섬유증을 일으키기도 한다.

수분이나 정전기 등 다른 물질과의 접촉에 민감하게 반응하는 것이 특징이다. 독성이 강하고 가연성·부식성을 가지고 있어 실란 가스를 다루는 배관 등의 설비가 중요하다. 실란 가스는 환기가 잘 되는 곳이나 바깥에서 취급해야 하며 최소 2명 이상의 전문가가 안전보호구와 공기 마스크, 고무장갑 등의 안전용구를 착용하고 다루어야 한다.